氣流質(zhì)量傳感器工作原理

氣體質(zhì)量流量計(jì)采用氣流質(zhì)量傳感器和壓力傳感器。氣流質(zhì)量傳感器是基于流過傳感器氣流質(zhì)量帶走的熱量正比于其輸出電壓的熱傳輸原理，壓力傳感器是氣體的壓力正比于輸出電壓，即將氣體質(zhì)量流量和氣體壓力同時(shí)轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)輸出。

質(zhì)量流量計(jì)零點(diǎn)不穩(wěn)定形成零點(diǎn)漂移，影響其精確度的進(jìn)一步提高，使得許多型號(hào)儀表只得采用將總誤差分為基本誤差和零點(diǎn)不穩(wěn)定度量?jī)刹糠帧?科里奧利質(zhì)量流量計(jì)不能用于測(cè)量低密度介質(zhì)和低壓氣體；液體中含氣量超過。測(cè)量系統(tǒng)根據(jù)科氏力原理測(cè)量介質(zhì)的質(zhì)量流量?？剖狭κ俏矬w在旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中做直線運(yùn)動(dòng)時(shí)所受 的力。 ·Δω 科氏力 Δ ω 角速度 旋轉(zhuǎn)或振動(dòng)時(shí)的徑向速度 科氏力大小與運(yùn)動(dòng)物體的質(zhì)量Δ 、速度成正比，即與介質(zhì)的質(zhì)量流量成正比。質(zhì)量流 量計(jì)用測(cè)量管的振。

該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測(cè)量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí)，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí)，氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場(chǎng)的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場(chǎng)分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測(cè)量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，由一個(gè)專門的電路變送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同，因而能測(cè)量氣體的質(zhì)量流量或總流量。

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